관리자
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2024-05-22
내역사업 | (제한공모) 2018년 1차 World Class 300 프로젝트 R&D 지원 신청 안내 |
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과제명 | AR·VR 대응 초고해상도 Display 측정·검사 장비 개발 | ||||
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과제고유번호 | 9991008029 | ||||
부처명 | 다부처 | ||||
시행계획 내 사업명 | |||||
시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
과제수행연도 | 2021 | 총연구기간 | 2018-07-01 ~ 2022-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2021-01-01 ~ 2021-12-31 |
연구목표 | 1. 딥러닝 이용 광학 회절한계를 극복한 Sub-micron CD 개발 - De-blur, Super-Resolution 딥러닝 적용된 sub-micron CD 시스템화와 산업 현장 적용 평가 및 검증 - 산업 현장의 Big Data를 확보 후 확보된 현장 data 바탕 딥러닝 강화 학습 및 딥러닝 성능 향상을 통한 500nm 수준 CD 측정 기술 확보... | ||
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연구내용 | 1. 딥러닝 이용 광학 회절한계를 극복한 Sub-micron CD 개발 - Sub-micron CD 장비의 산업 현장 적용으로 실제 제품 Data Base 확보 및 현장 DB 이용 딥러닝 강화 학습 - 고속 측정 System 구현 및 딥러닝 이용 Multi-Head Correlation * Multi-Magnification Module 개발 ... | ||
기대효과 | 1. 딥러닝 이용 광학 회절한계를 극복한 Sub-micron CD 개발 - Super resolution 적용 및 산업 현장 Data Base 기반한 딥러닝 알고리즘 개발을 통한 500nm 수준의 AR·VR용 초고해상도 디스플레이 대응 CD 측정 기술 확보2. 박막두께 측정이 가능한 진동 내성을 갖는 백색광 주사 간섭계(WLSI) 개발 - 산업 현장의 ... | ||
키워드 | 딥러닝,슈퍼레졸루션 선폭 측정기,진동 보상 백색광 주사 간섭계,1um 평면 분해능 분광 엘립소메터,증강가상현실 초고해상도 |
단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
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미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
연구수행주체 | 산 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 기계 > 산업/일반기계 > 달리 분류되지 않는 산업/일반기계 |
주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(의료,정밀,광학기기및시계) | |
중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 케이맥(주) | 사업자등록번호 | |
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연구책임자 | 소속기관명 | 케이맥(주) | 사업자등록번호 | |
최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
국비 | 1,296,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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비고 |