| 연구목표 |
[주관연구개발기관(주식회사 킴스레퍼런스)] o 나노구조체 표준물질 제작법 확립 o 원자현미경 탐침 특성평가용 표준물질 개발 [공동연구개발기관1(한국표준과학연구원)] o 패턴주사 방식을 이용한 고해상도 현미경 광학시스템 설계 및 제작, 기초성능 평가 o 반사형 Fourier ptychographic microscopy (FPM)을 이용한 초정밀 측정... |
| 연구내용 |
[주관연구개발기관(주식회사 킴스레퍼런스)]o 나노구조체 표준물질 제작법 확립 - (1) Si (100) 기판 위에 Si/SiO2 다층박막을 증착하고 (2) 고온 열처리, (3) 웨이퍼 접착, (4) 웨이퍼 절단, (5) 절단면 수평 연마 및 (6) 선택적 에칭 과정을 통한 나노구조체 표준물질 제작 단계별 최적 조건을 확립 o 원자현미경 탐침 특성평가용... |
| 기대효과 |
- 대면적 고속 광학 검사를 분석 생산성 향상과 수율을 개선 - EUV 마스크/펠리클 검사 기술에 필요한 요소 기술개발을 통한 해외 기술 의존 및 수입대체 효과 - 장비 구축에서 발생 가능한 불안요소 절감 및 신제품 신뢰성 향상 - 측정 장비 사양 검증 및 성능 평가 |
| 키워드 |
표준물질,광학현미경,수평해상도,깊이해상도,결함 검사 |