과제 상세정보
목록고온 (1000도 이상) 챔버 내부의 웨이퍼 온도 측정기술
작성자
관리자
조회수
92
등록일
2024-05-22
사업 정보
| 내역사업 | 차세대시스템반도체설계소자공정기술개발 |
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과제 기본정보
| 과제명 | 고온 (1000도 이상) 챔버 내부의 웨이퍼 온도 측정기술 | ||||
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| 과제고유번호 | 1415180389 | ||||
| 부처명 | 산업통상자원부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2022 | 총연구기간 | 2022-04-01 ~ 2024-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2022-04-01 ~ 2022-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | o TC웨이퍼 설계 및 측정시스템 구매 - 1000 ℃에서 사용가능한 챔버공정온도 모니터링용 TC웨이퍼 디자인 - 고온에서 복사온도계를 제외할 경우 활용가능한 온도센서는 열전온도센서가 유일하므로 TC웨이퍼 설계에 열전센서를 반영하고자 함 - 자동 기전력 측정 및 분석을 위한 적정 측정기기와 관련 자동제어 프로그램 개발 o TC웨이퍼 평가시스... | ||
|---|---|---|---|
| 연구내용 | o TC웨이퍼 접점 수 선정 및 웨이퍼 가공 - 접점수: 13점 - 접점 위치: 웨이퍼 중앙 1점+웨이퍼 중앙에서 46.7 mm 이격된 동심원 상 동일간격 4점 + 140.1 mm 이격된 동심원 상 동일간격 8점 - TC웨이퍼용 열전대 선정 및 구매: B형 열전대, 직경: 0.1 ~ 0.2 mm - (B,R)형 열전대 금속고정점 교정: Al, Ag,... | ||
| 기대효과 | o국내 최초 1000 ℃ 고온에서 측정가능한 TC웨이퍼 제작기술 확립 - 열전형 온도센서 기반 TC웨이퍼 제작o국내외 최초 TC웨이퍼 온도측정 정확도 평가시스템 구축 - 복사온도계를 제외한 고온 열전센서를 장착한 반도체 공정 모니터링용 TC웨이퍼의 온도측정값에 대한 측정표준 제공 | ||
| 키워드 | 반도체,웨이퍼,챔버,온도,불확도 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 응용연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 전기/전자 > 계측기기 > 물리량 시험/분석 계측기 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(전자부품,컴퓨터,영상,음향및통신장비) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | (재)한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | (재)한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 |
사업비
| 국비 | 150,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||