| 연구목표 |
[최종목표]- 웨어러블, 헬스케어, 모바일/스마트기기, 로봇 등 다양한 분야에 응용되는 자유형상의 고집적/융복합 센서 폼팩터 기술로서, 대면적 유연/신축 기판, 센서 집적 구조/공정, 융복합센서 신호처리 인터페이스 기술 등을 통합한 대면적 웨이퍼레벨 유연인장 하이브리드 센서 플랫폼 기술 개발 [1단계-1차년도 목표]-웨이퍼레벨 유연인장 하이브리드 기판 플... |
| 연구내용 |
[1단계 개발내용](자유형상 웨이퍼레벨 유연인장 하이브리드 기판 플랫폼 기술)- 유연인장 하이브리드 센서 플랫폼 개발을 위한 유연/신축 기판 구조 설계/공정 개발- 유연인장형 전극 소재/구조 및 다차원 전극배선 구조 공정 개발- 다종센서 집적부 및 코어모듈 인터페이스 구조 설계/공정 개발 - 유연인장 기판 플랫폼 신뢰성 확보를 위한 배선 보호층 설계 및 공... |
| 기대효과 |
-반도체/디스플레이 공정과 호환되는 대면적 웨이퍼레벨 유연인장 하이브리드 기판 플랫폼 기술 확보로, 모바일/스마트기기, 자동차, 바이오/헬스케어, 공공수요(스마트팩토리, 스마트팜 등) 등 주요 산업분야에서의 센서 신기술/신제품 발굴이 가능할 것으로 기대됨- 본 과제의 대면적 유연인장 센서 플랫폼에 일광공정으로 집적되는 생체센서(심탄도(BCG), 심전도(EC... |
| 키워드 |
유연인장 하이브리드 센서 플랫폼,웨이퍼레벨 유연인장 기판 플랫폼,자유형상 융복합센서 패치,유연인장 다종센서 집적 플랫폼,대면적 유연인장 융복합센서 패치 |