과제 상세정보
목록MRAM 자성 물성 분석용 비파괴 방식 고속 검사 장비
작성자
관리자
조회수
203
등록일
2024-05-22
사업 정보
| 내역사업 | PIM인공지능반도체핵심기술개발 |
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과제 기본정보
| 과제명 | MRAM 자성 물성 분석용 비파괴 방식 고속 검사 장비 | ||||
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| 과제고유번호 | 1415181747 | ||||
| 부처명 | 산업통상자원부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2022 | 총연구기간 | 2022-04-01 ~ 2027-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2022-04-01 ~ 2022-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | [최종목표]● MRAM 자성 물성 분석용 비파괴 방식 고속 검사 장비 개발[1차년도 목표]● 자성층 평가의 기본 원리 확립[2차년도 목표]● 4인치 웨이퍼 측정 장비 설계[3차년도 목표]● 4인치 웨이퍼 측정 장비 제작 및 검증[4차년도 목표]● 10인치 웨이퍼 측정 장비 설계[5차년도 목표]● 10인치 웨이퍼 측정 장비 제작[6차년도 목표]● 10인치 웨... | ||
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| 연구내용 | [1차년도 개발내용]● 시편 단위에서 검사원리의 동작 여부 검증 및 효율적 측정법 개발● 스트라이프 상태 형성 방법 개발● 스트라이프 형성 임계자기장 도출● 자기장 변화 없는 MRAM용 자성 박막 균일도 검사 기본 원리 확립● 이방성 측정 기본 원리 확립● 자화량 측정 원리 확립● 전자석 기본 자료 및 요구 특성 분석 ● 미세자화상태 측정 기술확보● 시편 ... | ||
| 기대효과 | [연구개발성과의 활용방안 및 기대효과]● 기존의 장비들의 한계를 극복하여 웨이퍼 전영역에 대한 균일성 평가가 가능함.● 전기적측정방식의 한계인 국소영역 특성 평가 불가능 및 레이저 스팟 방식의 오랜 측정시간의 한계를 모두 극복한 웨이퍼 평가 방식을 확보함.● 스트라이프 형성을 통해 분해능을 확보.● DC자기장을 이용하기 때문에 기존 장비들이 가지고 있는 자... | ||
| 키워드 | 자기저항램,자기메모리,균일성,자화량,자기이방성 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 응용연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | 기타 | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 기계 > 측정표준/시험평가기술 > 신뢰성/비파괴평가 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(전기 및 기계장비) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | (재)한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | (재)한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 이학 |
사업비
| 국비 | 700,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||