과제 상세정보
목록차세대 압전기반 모션센서 공정플랫폼
작성자
관리자
조회수
136
등록일
2024-05-22
사업 정보
| 내역사업 | 제조혁신기반구축 |
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과제 기본정보
| 과제명 | 차세대 압전기반 모션센서 공정플랫폼 | ||||
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| 과제고유번호 | 1415181776 | ||||
| 부처명 | 산업통상자원부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2022 | 총연구기간 | 2022-04-01 ~ 2028-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2022-04-01 ~ 2022-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | [최종목표]ㅇ 미래 IoT 및 차세대 모션인식 센서 시장에 대응하기 위한 압전 기반 모션 센서 공정 플랫폼 구축 및 관련 기업 지원[1차년도 목표]ㅇ 압전 소재 증착 공정 개발[2차년도 목표]ㅇ 압전 기반 초음파 변환자 공정 플랫폼 개발[3차년도 목표]ㅇ 초음파 모션센서 제작 및 센서 평가 플랫폼 개발 [4차년도 목표]ㅇ 배열센서 모듈 제작 및 위치센서 검... | ||
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| 연구내용 | [1단계 개발내용][1차년도 개발내용]● AlN 소재ㅇ c-axis 방향으로 성장된 압전 AlN 박막 증착 기술 개발ㅇ 8 인치 웨이퍼에 증착된 AlN박막의 잔류응력 분석 기술개발ㅇ 압전박막의 특성측정 기술 개발● PZT 소재ㅇ PZT 압전 박막 증착 기술 개발ㅇ PZT 박막 코팅 8" 웨이퍼 제작 및 잔류 응력 측정ㅇ 박막 특성 측정 기술 개발[2차년도 ... | ||
| 기대효과 | ㅇ AlN와 PZT는 대표적인 압전물질로 차세대 IoT센서와 5G 통신을 위한 필터, 공진자 개발에 활발히 쓰이고 있음ㅇ AlN과 PZT를 활용한 IoT센서와 5G통신시장의 크기가 매우 빠르게 커지고 있음에도 불구하고 국내에서는 관련 인프라와 공정플랫폼을 소유하고 있지 못한 상황임ㅇ 본 과제를 통하여 핵심 압전물질인 AlN과 PZT를 이용한 모션센서 공정플... | ||
| 키워드 | 초음파변환자,거리 센서,압전 소자,모션 센서 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 응용연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | 기타 | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 전기/전자 > 반도체소자·회로 > MEMS 소자 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 교통/정보통신/기타기반시설 | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 나노종합기술원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 나노종합기술원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 |
사업비
| 국비 | 190,000,000 | 지방비(현금+현물) | 190,000,000 |
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| 비고 | |||