| 연구목표 | [최종목표]ㅇ 나노기술기반 복합물질감지 가스센서 공정플랫폼[1차년도 목표]o 팹 공정을 이용한 가스센서 후보물질의 박막 공정 개발 및 제조o SSL 나노 구조 공정의 팹 공정 적용o 나노 소재 및 구조에 대한 분석 지원o 가스센서 측정 장비 구매o 인력고용o 목표하는 각 가스별 고체산화물 베이스 물질 검토 및 선정 o 각 가스별 목표에 상응한 구조 및 구성... | 
                            
                                | 연구내용 | [1단계 개발내용]o 고체산화물 또는 금속 소재 박막공정 개발o 2D MXene 소재 공정 개발o SSL 공정의 대면적화 및 양산 공정 기술 개발o 보유중인 다양한 분석 장비를 이용한 분석 지원o 가스센서 측정 장비 구축o 가스센서 측정 전담인력 고용o 목표하는 각 가스별 DFT 시뮬레이션 o 각 센서별 나노구조구체화 및 나노패턴 정밀 제어 연구o SSL ... | 
                            
                                | 기대효과 | 본 과제를 수행함으로써 국내 가스센서 플랫폼을 구축하고자하며, 이를 통해 국내 가스센서 산업을 위한 가스센서 제조와 관련된 원천기술 개발 및 분석기술을 개발하고 이를 수요기업들에게 제공하고자함. 이를 통해 국내 가스센서 산업을 위한 허브로 자리잡을 것으로 예상됨.  또한, 4차 산업혁명의 핵심인 미래에 필수적으로 요구되는 유망 산업으로써, 특히 가스센서는 ... | 
                            
                                | 키워드 | 가스센서,2차 스퍼터링 리소그라피,나노패턴,날숨센서,머신러닝 |