과제 상세정보
목록실내 유해가스 감지를 위한 저전력 MEMS 기반의 VOCs 가스 센서 개발
작성자
관리자
조회수
188
등록일
2024-05-22
사업 정보
| 내역사업 | 2021년도 창업성장기술개발사업 전략형 과제(소재·부품·장비) 제1차 시행계획 공고 |
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과제 기본정보
| 과제명 | 실내 유해가스 감지를 위한 저전력 MEMS 기반의 VOCs 가스 센서 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1425160014 | ||||
| 부처명 | 중소벤처기업부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2022 | 총연구기간 | 2021-05-24 ~ 2023-05-23 | 당해연도 연구기간 | 2022-01-01 ~ 2022-05-23 |
요약 정보
| 연구목표 | ⊙ 고온 구동(450℃) MEMS 플렛폼 개발 - 소비전력 30mW 이하 MEMS 플렛폼 설계 및 제작 ⊙ 고온 구동(450℃) 시 안정적인 금속산화물 감지 소재 개발 - 감도(Ra/Rg) ≥1.5 @ 500 ppb (톨루엔) - 베이스 저항 분포 ≤ 2㏁ @ Clean Air, 온도 25℃, 습도 50% R.H - 동작 안정성(내구성) :... | ||
|---|---|---|---|
| 연구내용 | ⊙ 고온 구동(450℃) MEMS 플렛폼 개발 - 기존 350℃ 구동 MEMS 플렛폼을 활용한 450℃ 구동 온도에 따른 박막 특성 분석 및 Simulation - 기존 MEMS 플렛폼의 Simulation 결과를 기반으로 멤브레인의 박막 구조, 히터전극, 감지 전극 및 절연막의 박막 구조 설계에 따른 소비 전력, 온도 분포 및 박막 응력에... | ||
| 기대효과 | 1) 활용방안 □ 세계 최초 고온 구동(450℃) MEMS 기반 VOCs 가스 센서 개발 ⊙ 고온 구동 MEMS 플렛폼 제조 및 제작 기술 확보 - 세계 최초로 고온 구동 MEMS 플렛폼의 설계 및 제작 기술을 확보할 것으로 예상됨. ⊙ 고온 구동 금속산화물 감지 소재의 합성 기술 확보 - 고온 구동에서 안정된 동작이 가능한 금속산화물 감지... | ||
| 키워드 | 가스센서,멤스,금속산화물,반도체,휘발성유기화합물 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 산 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 전기/전자 > 전기전자부품 > 센서부품 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(전자부품,컴퓨터,영상,음향및통신장비) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | (주)이노즈 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | (주)이노즈 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 45,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||