관리자
172
2024-05-22
| 내역사업 | 2020년도 테크브릿지활용 상용화 기술개발사업 제2차 시행계획 공고 |
|---|
| 과제명 | OLED 유기 박막 깊이 방향 및 불순물 분석을 위한 Gas Cluster Ion Beam 모듈 개발 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 과제고유번호 | 1425161051 | ||||
| 부처명 | 중소벤처기업부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2022 | 총연구기간 | 2020-11-01 ~ 2022-10-31 | 당해연도 연구기간 | 2022-01-01 ~ 2022-10-31 |
| 연구목표 | - GCIB 모듈 및 Linear 질량분석기가 설치된 테스트 시스템 시제품 제작, 통합 시스템 최적화 및 성능 인증 평가- GCIB 모듈 깊이 방향 식각 분해능 및 불순물 분석 성능테스트 및 인증 평가 | ||
|---|---|---|---|
| 연구내용 | - 테스트 챔버 적용 전체 시스템 제작 및 Set-up (GCIB 모듈, 질량분석기, 5축 스테이지 및 샘플 loading 장치 등)- 전체 시스템 통합 및 최적화- 성능 테스트 및 인증평가 - GCIB 소스 깊이 방향 식각 분해능 및 질량분석 기반 불순물 분석 연구 (테스트 챔버 적용된 통합 시스템을 활용하여 성능 테스트 진행)- 성능 테스트 및 인... | ||
| 기대효과 | - GCIB 모듈(가속에너지: 20kV, 깊이 방향 식각 분해능: 1nm) 시제품- GCIB 모듈 및 Linear 질량분석기가 설치된 테스트 챔버 시스템 시제품(고정밀 5축 스테이지, 샘플 로딩 장치, 전체 진공 시스템)- 정량적 성능지표 인증 결과 | ||
| 키워드 | 가스클러스터 이온빔 모듈,유기발광다이오드,깊이 방향 분석,1nm 깊이 분해능,불순물 분석 | ||
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
|---|---|---|---|---|---|
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | IT(정보기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 산 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 전기/전자 > 디스플레이 > 디스플레이 측정/검사장비 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(전자부품,컴퓨터,영상,음향및통신장비) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | (주)와이엔디케이 | 사업자등록번호 | |
|---|---|---|---|---|
| 연구책임자 | 소속기관명 | (주)와이엔디케이 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
| 국비 | 287,250,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
|---|---|---|---|
| 비고 | |||