| 연구목표 |
개발에서 목표로 하는 선박용 및 군사용 가스센서 개발을 위한 최적의 센서소자 및 센서모듈 개발하며, 가스에 대해 선택적으로 고민감도를 반응할수 있는 금속산화물 반도체 소재와 이를 구동할수 있는 마이크로히터 및 신호처리에 필요한 ROIC를 통한 센서모듈 시작품 제작을 목표로 한다. |
| 연구내용 |
-이차스퍼터링기반 3차원 나노구조체용 모듈 디자인-마이크로히터 설계 및 제작-4채널용 ROIC 구현-유/무선 통신방법 개발-운용제어부 개발-운용소트프웨어 개발-시작품 제작 및 성능시험-P-N junction, 귀금속 doping을 통한 센서 민감도 선택성 향상 -나노 구조체 도입을 통한 내구성 및 민감도 향상 |
| 기대효과 |
선박용 NOx 센서 및 군사용 화학가스센서의 핵심 탐지모듈로 적용확보된 기술을 바탕으로 유해환경 작업장에서 필요로 하는 각종 센서 및 농업용 환경센서의 핵심센서로 적용가능 (유해환경 작업장 및 농업용 환경센서에 필요한 대상 탐지물질에 선택적으로 반응하는 감지물질만 변경하면 동일한 공정으로 필요로 하는 센서 제작가능함) - 마이크로히터, 4채널 ROIC, 유... |
| 키워드 |
이차스퍼터링,금속산화물반도체,질소산화물,화학작용제,센서 |