| 연구목표 |
가시성 페럴린 필름 성막 공정 최적화 및 고정밀 공정 장비 개발 완료 - 헤이즈 50% 이상 (550 nm 기준) - 비저항 1011 Ω·cm 이상 - 두께 2 μm 이하 - 성막 공정 시간 2시간 이하 - 표면 균일도 5% 이하 (헤이즈 기준, 기판 크기 20 x 20 cm2 이상) |
| 연구내용 |
- 주관기관 개발내용 고성능 가시성 페럴린 필름 성막 장비 신규 설계● 예비단계 기술개발 결과 2시간 이하의 짧은 공정 조건은 하나의 분해부를 통해서는 달성하기 어려움을 확인함. 또한 균일성을 확보하기 위해서는 가시성을 가지는 필름의 두께를 얇게 조절하면서도 높은 헤이즈를 가질 수 있는 공정이 필요함● 이러한 필름을 개발하기 위해서는 우수한 물성과 밀착력... |
| 기대효과 |
㈜엠바디텍의 총매출 분석 결과에 따른 사업화 목표 제시● 아래 그림은 ㈜엠바디텍의 지난 4년간의 총매출액 분석을 바탕으로 제시된 사업화 목표임. ㈜엠바디텍은 4년간 총매출액이 평균 10.2% 증가하였고 개발종료 후 5년인 2027년도에는 약 1,500백만원의 총매출액 달성이 가능할 것으로 예측됨● 본 과제를 통하여 개발될 고정밀 가시성 페럴린 장비 기술 개... |
| 키워드 |
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