과제 상세정보
목록반도체 디스플레이 공정 in-situ 모니터링 TOF-MS 국산화
작성자
관리자
조회수
87
등록일
2024-05-22
사업 정보
| 내역사업 | 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘소부장일반(재도약과제)’ 상반기 시행계획 공고 |
|---|
과제 기본정보
| 과제명 | 반도체 디스플레이 공정 in-situ 모니터링 TOF-MS 국산화 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 과제고유번호 | 1425163229 | ||||
| 부처명 | 중소벤처기업부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2022 | 총연구기간 | 2022-04-01 ~ 2024-03-31 | 당해연도 연구기간 | 2022-04-01 ~ 2022-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | *반도체 디스플레이 생산 공정 in-situ 모니터링을 위한 TOF-MS 소형화- 시스템 저체 사이즈 : 450*250*360(3Kg 이내)- Full mass 스켄 간격 : 0.5초- 측정 범위 : 0~500 amu- 분해능 : 400 (m/delta m)- 연속 측정 일 : 90일(설비 PM 주기) | ||
|---|---|---|---|
| 연구내용 | <주관기관>- TOF-MS 소형화- 오염방지 기술 적용- 주입압력 자동제어 인넷 모듈 개발- 소형 이온 검출기 개발- TOF-MS 이온 검출기 오염 방지 기술 개발- 반도체 디스플레이 공정 진단 모니터링 전용 S/W 개발 - 마케팅 전략 수립- 홍보물 제작 및 배포- 현장 Demo test | ||
| 기대효과 | 1) 연구개발성과의 활용방안□ 기술적- 기존 대형 ToF-MS의 장점을 소형/경량화로 장비의 일상모니터링을 실현- 공정에 영향을 주지 않으면서 공정 부산물을 정확히 특정하는 진단기법을 실현- 공정의 현수준을 판단하는 모니터링, 공정 결과물의 예측과 공정장비/부품의 내구성 및 수명 평가 등 개별 장비수준의 스마트화를 실현하는 정보 수집 실현- 온실가스 배출량... | ||
| 키워드 | 비행시간 질량 분석기,소형화,반도체 디스플레이,실시간 공정 모니터링,온실가스 간접배출 저감 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
|---|---|---|---|---|---|
|
기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | ET(환경기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 산 | 과학기술표준분류 | 자연 > 화학 > 분석화학 > 질량분석학 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 환경 | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | (주)이엘 | 사업자등록번호 | |
|---|---|---|---|---|
| 연구책임자 | 소속기관명 | (주)이엘 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 학사이하 | 최종학력전공 | 이학 |
사업비
| 국비 | 180,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
|---|---|---|---|
| 비고 | |||