| 연구목표 |
Crack-free 4inch AlN on Sapphire Template 개발 4inch AlN 특성평가 공정 flow chart 도출 1단계 시제품 고객사 인증 Wet etching 표면처리를 통한 결함밀도 분석 방법 개발 - 다양한 chemical etchant를 이용한 표면 에칭 : KOH, NaOH, NH4OP, H3PO4 등 - 표면... |
| 연구내용 |
4인치 AlN 개발을 위한 공정 실험 - 2인치 AlN 박막 성장시 얻게된 공정 조건 확장성 검토 * TMAl Source와 NH3 Gas의 Ratio 최적화 * Carrier Gas를 포함한 Total Gas Flow rate 최적화 * 결정성 향상을 위한 박막 성장 온도 최적화 * 초기 ... |
| 기대효과 |
고품위 2인치 및 4인치 AlGaN/AlN Template 개발 목적은 AlN 반도체의 물성을 활용하여 템플릿(Template)의 형태로 개발하면, 그 템플릿 위에 다양한 여러 가지 구조의 반도체 에피택셜층을 성장하여, 여러 가지 응용처의 반도체 소자를 제작 할 수 있다는 점이다. 그리고 기판사이즈가 2인치 에서 4인치로 커짐... |
| 키워드 |
알루미늄갈륨나이트라이드,고온 금속유기증착장비,템플레이트,화합물,고품질 4인치 |