| 연구목표 |
대면적 반도체 공정을 통한 수소센서 개발 - 6인찌 대면적 공정 확립 (마이크로히터 적용된 센서 구조체) 및 생산수율 60% 이상확보 - 센서크기 : 1.5×1.5mm 이하 - 센서 최저감지농도 : 2ppm (센서자체의 감지농도) - 나노패턴 가공형상 및 size : 20nm이하(폭)×100nm이상(높이)×600nm이하(간격)센서모듈 개발 ... |
| 연구내용 |
센서소재, 센서소자, 센서모듈 및 시제품 제작으로 나누어 연구개발을 수행할 계획이며 주관기관인 한국과학기술원에서는 센서소재 개발을 핵심내용으로 수행하며, 공동개발기관인 센서테크에서는 센서소자, 센서모듈 및 시제품 제작을 수행할 계획임. 1) 1차년도이차스퍼터링기반 고민감도 고선택성 수소센서용 감응물질 개발 - 도핑을 통한 민감도 및 선택성 향상 ... |
| 기대효과 |
활용방안 - 변압기 절연유 유중가스 감시시스템 및 소형 변압기의 수소센서모듈로 활용 - 대학, 연구소 및 기업부설연구소의 실험실의 수소센서모듈로 활용 - 확보된 기술을 바탕으로 다양한 환경에서 필요로 하는 가스센서 개발에 적용기대효과 - 제품개발완료후 사업화에 따라 약200억원 이상의 매출과 20명 이상의 신규고용창출을 기대할수 있음 -... |
| 키워드 |
수소 센서,나노패터닝,맞춤형 소재개발,센서 모듈화,수소 안전 시스템 |