전압 왜곡에 따른 플라즈마발생기용 전원공급장치 영향 개선
과제 기본정보
| 과제명 |
전압 왜곡에 따른 플라즈마발생기용 전원공급장치 영향 개선 |
| 과제고유번호 |
1425167956 |
| 부처명 |
중소벤처기업부 |
| 시행계획 내 사업명 |
|
| 시행계획 내 사업유형 |
|
예산출처지역 |
대전광역시 |
사업수행지역 |
대전광역시 |
| 계속/신규 과제구분 |
신규과제 |
| 과제수행연도 |
2022 |
총연구기간 |
2022-06-01 ~
2023-02-28
|
당해연도 연구기간 |
2022-06-01 ~
2023-02-28
|
요약 정보
| 연구목표 |
□ 해결목표 및 방법 요약o 반도체 장비 적용환경(FAB)에서 플라즈마 발생기용 전원장치에 요구되는 기술 파악 및 제품 Upgrade (대전력 사용 설비 사용 환경에 따른 전원 왜곡)- 기존 제품(QPGPSU-050)의 Up-grade 방향 설정을 위한 전문가 컨설팅- 컨설팅 결과를 고려한 제품 Up-gradeo 전원 왜곡에 따라 플라즈마 발생기용 전원장... |
| 연구내용 |
□ 기술개발 및 기술애로의 내용o ㈜큐아이티는 메모리부품(DRAM 등)의 제작과 관련된 폐가스(반도체 공정용 가스가 웨이퍼 미반응후 배기용 진공배관 및 진공 펌프 등에 잔재)의 후처리 장치(배기용 장치내에서 챔버에서 나온 미반응 가스가 재반응이 일어나지 않도록 하는 장치)에 적용되는 플라즈마 발생기용 전원공급장치의 개발/제조/납품 사업을 진행하고 있음. o... |
| 기대효과 |
□ 결과물 활용방안 및 기대효과o 제품 업그레이드- 현재 사업화 진행되고 있는 QPGPSU-050제품의 Up-grade에 활용할 계획임.- 향후 제품의 Series화 진행 시 금번 검토 결과를 고려하여 제품개발 진행 계획임o 사업화 확장- 본 제품을 통해 S전자의 메모리 사업에 기여함과 동시에 최근 점차 선단노드 (4nm, 3nm 공정)에 전투적 투자를 하... |
| 키워드 |
전원 왜곡,플라즈마,전원장치 |
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 |
기업 |
대학 |
국공립(연)/출연(연) |
외국연구기관 |
기타 |
|
|
|
|
|
|
|
기술 정보
| 연구개발단계 |
개발연구 |
산업기술분류 |
|
| 미래유망신기술(6T) |
기타 |
기술수명주기 |
|
| 연구수행주체 |
학 |
과학기술표준분류 |
인공물 > 전기/전자 > 중전기기 > 전원장치 |
| 주력산업분류 |
|
적용분야 |
기타 산업 |
| 중점과학기술분류 |
|
과제유형 |
|
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 |
과제수행기관(업)명 |
가천대학 |
사업자등록번호 |
|
| 연구책임자 |
소속기관명 |
가천대학 |
사업자등록번호 |
|
| 최종학위 |
박사 |
최종학력전공 |
공학 |
사업비
| 국비 |
30,000,000
|
지방비(현금+현물) |
0
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| 비고 |
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과제 기본정보
| 과제명 |
전압 왜곡에 따른 플라즈마발생기용 전원공급장치 영향 개선 |
| 과제고유번호 |
1425167956 |
| 부처명 |
중소벤처기업부 |
| 시행계획 내 사업명 |
|
| 시행계획 내 사업유형 |
|
| 예산출처지역 |
대전광역시 |
| 사업수행지역 |
대전광역시 |
| 계속/신규 과제구분 |
신규과제 |
| 과제수행연도 |
2022 |
| 총연구기간 |
2022-06-01 ~
2023-02-28
|
| 당해연도 연구기간 |
2022-06-01 ~
2023-02-28
|
요약 정보
| 연구목표 |
□ 해결목표 및 방법 요약o 반도체 장비 적용환경(FAB)에서 플라즈마 발생기용 전원장치에 요구되는 기술 파악 및 제품 Upgrade (대전력 사용 설비 사용 환경에 따른 전원 왜곡)- 기존 제품(QPGPSU-050)의 Up-grade 방향 설정을 위한 전문가 컨설팅- 컨설팅 결과를 고려한 제품 Up-gradeo 전원 왜곡에 따라 플라즈마 발생기용 전원장... |
| 연구내용 |
□ 기술개발 및 기술애로의 내용o ㈜큐아이티는 메모리부품(DRAM 등)의 제작과 관련된 폐가스(반도체 공정용 가스가 웨이퍼 미반응후 배기용 진공배관 및 진공 펌프 등에 잔재)의 후처리 장치(배기용 장치내에서 챔버에서 나온 미반응 가스가 재반응이 일어나지 않도록 하는 장치)에 적용되는 플라즈마 발생기용 전원공급장치의 개발/제조/납품 사업을 진행하고 있음. o... |
| 기대효과 |
□ 결과물 활용방안 및 기대효과o 제품 업그레이드- 현재 사업화 진행되고 있는 QPGPSU-050제품의 Up-grade에 활용할 계획임.- 향후 제품의 Series화 진행 시 금번 검토 결과를 고려하여 제품개발 진행 계획임o 사업화 확장- 본 제품을 통해 S전자의 메모리 사업에 기여함과 동시에 최근 점차 선단노드 (4nm, 3nm 공정)에 전투적 투자를 하... |
| 키워드 |
전원 왜곡,플라즈마,전원장치 |
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 |
기업 |
대학 |
국공립(연)/출연(연) |
외국연구기관 |
기타 |
|
|
|
|
|
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|
기술 정보
| 연구개발단계 |
개발연구 |
| 산업기술분류 |
|
| 미래유망신기술(6T) |
기타 |
| 기술수명주기 |
|
| 연구수행주체 |
학 |
| 과학기술표준분류 |
인공물 > 전기/전자 > 중전기기 > 전원장치 |
| 주력산업분류 |
|
| 적용분야 |
기타 산업 |
| 중점과학기술분류 |
|
| 과제유형 |
|
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 |
| 과제수행기관(업)명 |
가천대학 |
| 사업자등록번호 |
|
| 연구책임자 |
| 소속기관명 |
가천대학 |
| 사업자등록번호 |
|
| 최종학위 |
박사 |
| 최종학력전공 |
공학 |
사업비
| 국비 |
30,000,000
|
| 지방비(현금+현물) |
0
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| 비고 |
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