| 연구목표 |
최종 목표: 나노패턴을 이용한 소형 수소 가스센서모듈 개발세부목표:대면적 반도체 공정을 통한 수소센서 개발 - 6인찌 대면적 공정 확립 (마이크로히터 적용된 센서 구조체) - 센서크기 : 1.5×1.5mm 이하 - 센서 최저감지농도 : 5ppm (센서자체의 감지농도) - 나노패턴 가공형상 및 size : 20nm이하(폭)×100nm이상(높이)... |
| 연구내용 |
대학에서 보유하고 있는 3차원 나노구조체 제작기술을 활용하여 수소센서를 효율적으로 검출하기 위해 최적인 구조체 설계 및 감응물질을 개발하고, 기업에서 보유하고 있는 상용화 기술을 바탕으로 수소센서 모듈 및 요소기술을 개발하여 사업화를 통한 매출이 발생할수 있도록 하기 위해 본 1단계 과제기획연구를 통해 가능성을 확인하고자 함.KAIST에서 보유하고 있는 기... |
| 기대효과 |
본 과제기획 성과의 활용방안으로는 R&D 공동기획(1단계) 과 전략협력 R&D(2단계) 연계 방안이 있음.-R&D 공동기획(1단계)을 통해 확립된 비즈니스 모델, 사업화 계획수립 내용 및 감응물질 평가, 시스템 개발 기획내용을 바탕으로 전략협력 R&D 1차년도에 사업화가 가능한 형태의 6인찌 대면적 센서 제작 공정 및 신호처리 회로가 포함된 센서모듈을 개발... |
| 키워드 |
수소 센서,나노패터닝,맞춤형 소재개발,센서 모듈화,안전 모니터링 |