과제 상세정보
목록플라즈마를 이용한 반도체 공정 오염수 정화 시스템 개발
작성자
관리자
조회수
146
등록일
2024-05-22
사업 정보
| 내역사업 | 중소기업R&D기획지원 |
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과제 기본정보
| 과제명 | 플라즈마를 이용한 반도체 공정 오염수 정화 시스템 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1425168146 | ||||
| 부처명 | 중소벤처기업부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2022 | 총연구기간 | 2022-06-27 ~ 2022-09-26 | 당해연도 연구기간 | 2022-06-27 ~ 2022-09-26 |
요약 정보
| 연구목표 | 플라즈마를 이용한 반도체 / 디스플레이 공정 폐수 정화 설비 개발을 통해 반도체 / 디스플레이에 사용된 오염수를 전화 물 소비량을 줄이는것이 최종 목표 입니다. 이를 위해서는 고농도 오존을 생산할수 있는 플라즈마 발생기, 이를 보관할수 있는 탱크,이를 운영할수 있는 시스템을 연결해 버려지는 오염수를 정화하여물 소비량을 줄이고 나아가 다른 산업분야에도 적용할... | ||
|---|---|---|---|
| 연구내용 | 1.고농도 오존발생할수 있는 플라즈마 소스 개발. - 고농도 오존 발생을 위한 설계 진행.(직렬 발식) - 발생면적으 넓히고 오존의 손실을 최소화할수 있는 구조를 적용예정.2. 고농도의 용존 오존을 발생시킬 수 있는 가압탱크 개발 - 가스상태의 오존을 물에 녹이기 위해 압력을 가할 수 있도록 다층 터빈 블레이드 구조로 개발하며, - nano ... | ||
| 기대효과 | 플라즈마를 이용한 오염수 정화 시스템은 친환경적이며, 어떠한 유해물질의 추가적인 발생을 하지 않아 작업 환경개선에도 크게 기여될것으로 보입니다.또한 오염수 정화를 통해 반도체,디스플레이, 정유,철장등 오염수의 다발성 발생 산업군에 적용하여 오염수 정화 및 재사용을 통해 물소비 절감 및 비용 절감등의 근시적인 효과와 물 절약을 통해 환경보로 , 탄소저감등의 ... | ||
| 키워드 | 플라즈마,버블,오염수,정화,오존 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | 기타 | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 산 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 화공 > 고분자공정기술 > 고분자 박막/코팅 제조기술 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 기타 산업 | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 에스와이에스 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 에스와이에스 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 |
사업비
| 국비 | 5,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||