과제 상세정보
목록5G 모바일 CPU의 전력 최적화를 위한 고성능 초소형 수동소자 개발
작성자
관리자
조회수
77
등록일
2024-05-22
사업 정보
| 내역사업 | 2022년 창업성장기술개발사업 디딤돌(첫걸음 창경센터 추천) 과제 연구개발계획서 제출 안내 |
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과제 기본정보
| 과제명 | 5G 모바일 CPU의 전력 최적화를 위한 고성능 초소형 수동소자 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1425168667 | ||||
| 부처명 | 중소벤처기업부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2022 | 총연구기간 | 2022-07-01 ~ 2023-06-30 | 당해연도 연구기간 | 2022-07-01 ~ 2022-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | 1) Robust 3D 구조 설계- 종횡비 구조에서도 강한 Robust 구조 설계2) 고정전용량을 위한 고종횡비 3D Trench 공정 개발- 고용량 확보를 위한 패턴간 간격 CD 350 nm 기준 30:1 이상의 고종횡비를 가지는 실리콘 식각 기술 개발3) 안정적인 고정전용량 확보를 위한 고유전율 유전막 증착 공정 개선- 800 nF/mm2 이상의 고용량... | ||
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| 연구내용 | 1) Robust 3D 구조 설계- 고용량의 실리콘 캐패시터를 개발하기 위하여 고종횡비에서도 외적 stress에 버틸 수 있는 새로운 디자인의 패턴 구조 설계 (H-Beam, Cross-Beam 등)2) 단위 공정 설계 및 최적화- 설계된 Robust 구조물 패턴에서의 Photolithography 공정 최적화- 30:1 이상의 종횡비를 가지는 3D 실리콘... | ||
| 기대효과 | 1) 연구개발성과의 활용방안- 수요기업에 시제품 전달 및 양산성 검증 후 상용화- 차세대 반도체 전력 최적화의 기반 부품화2) 연구개발성과의 기대효과(1) 과학·기술적 측면- 5G 모바일 전력 최적화를 위한 수동소자 디자인 설계 - 3D 입체 공정 구조물 형성 기술 확보 - 고유전막 원자층 증착 제어 기술 확보 - 고주파 테스트 및 신뢰성 평가 기술 확보 ... | ||
| 키워드 | 실리콘 캐패시터,고유전층,MIM구조,원자층증착,3D 트렌치 구조 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 산 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 전기/전자 > 반도체소자·회로 > Si 소자 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(전자부품,컴퓨터,영상,음향및통신장비) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 앨로힘(주) | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 앨로힘(주) | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 학사이하 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 55,500,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||