| 연구목표 |
1) 8G 등 디스플레이 패널과 같은 서셉터(SUSCEPTOR) 제품 제조의 히터 블록내의 내장 히터를 타격에 의한 일체형으로 수동 압착 성형하는 당사의 기존 제조방식에서 자중에 의한「자동정밀압착성형장치」특허 기술 적용, 시제품 제작 및 시험 평가 등 최적화 기술에 의한 국산화 제품제조에 기여하고자함.2) 히팅블록 서셉터(SUSCEPTOR) 제품을 최적화 ... |
| 연구내용 |
■ 기획 기술의 개요 및 특성- 종래에는 디스플레이 공정용 장비 히터 블록 서셉터(SUSCEPTOR) 부품의 내장 히터가 성형 롤러와 같은 성형 부재를 통해 가압 성형되거나, 내장 히터를 탑재한 히터 블록 자체가 주조 공법 또는 열간 가압 소결 장치 등과 같은 다양한 방법을 통해 제조되었으나 8G 등 히터 블록 서셉터(SUSCEPTOR) 부품 등이 대형화,... |
| 기대효과 |
■ 개발완료(기획 기술) 후 사업화 전략 및 계획- 당사는 R&D 첫거름 기획으로 개발완료(기획기술)후 중소기업 기술개발 지원사업이나 산학연 Collabo R&D 사업 등의 중소기업의 R&D 과제에 연계 선정되기를 희망함.- 중소기업의 R&D 과제 연계 선정에 의한 수행 연구로 상기 장치 및 이의 제어시스템을 최적화 기술을 통해 최근 반도체 및 디스플레이 ... |
| 키워드 |
서셉터,디스플레이,히터 블록,압착성형 |