| 연구목표 |
2차년도● 인텍플러스는 한국과학기술원으로부터 MWDH의 광학설계를 받아 MWDH 시작품을 개발함. ● 한국과학기술원에서는 MWDH의 파장 안정화를 위해 고안정 다파장 광원 및 스위칭 모듈을 개발함. 또한 간섭계를 고속화하고 자동초점 기법 알고리즘을 개발하여 특성을 평가.2차년도 목표:- 고단차형상 측정을 위한 고안정다파장광원 개발 (통합광원개발 및 파장 안... |
| 연구내용 |
○ 고단차 형상 측정을 위한 고안정 다파장 광원 개발가시광선 영역 파장천이 광원 개발 및 기본 파장 특성 평가최적의 파장천이 광원 선정 및 파장 안정화 기술 개발나노미터 수준으로의 측정성능 향상 가능성 평가 모색○ 3차원 고속 측정을 위한 다파장 스위칭 모듈, 간섭계 고속화, 및 위상천이용 편광 카메라의 간섭계 적용간섭계 고속화를 위한 고속 위상천이 기법 ... |
| 기대효과 |
○ 기술적 기대효과● 미세 Bump의 False Alarm(Overkill)이 발생하여, 고가의 Wafer Chip 전체가 불량으로 판정되는 경우를 방지하여, 반도체 제조업체의 효율성을 극대화 할 수 있는 3D 센서모듈을 개발함● 다양한 이종 Wafer Die의 조립을 위해서, Middle-End에서 FOWLP/ FOPLP 등과 같은 신규 공정이 개발되고 ... |
| 키워드 |
반도체 패키징,헤테로지니어스 패키징,고단차,3D 검사,대면적 검사 |