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유연소자의 연속생산을 위한 중첩정확도 향상 기술

작성자

관리자

조회수

93

등록일

2024-05-22

사업 정보
내역사업 (유형1-2)중견연구
과제 기본정보
과제명 유연소자의 연속생산을 위한 중첩정확도 향상 기술
과제고유번호 1711153392
부처명 과학기술정보통신부
시행계획 내 사업명
시행계획 내 사업유형 예산출처지역 대전광역시 사업수행지역 대전광역시
계속/신규 과제구분 신규과제
과제수행연도 2022 총연구기간 2022-03-01 ~ 2026-02-28 당해연도 연구기간 2022-03-01 ~ 2023-02-28
요약 정보
연구목표 최근 유연 디스플레이, IoT 디바이스/센서, 배터리, 웨어러블 소자 등에 대한 시장의 요구가 증가됨에 따라, 기능성 잉크를 사용하여 유연 기판 위에 전자 또는 바이오 소자를 연속 생산할 수 있는 인쇄전자 공정이 주목받고 있다. 특히 리버스 오프셋 방식은 습식 식각 공정에 의해 가공된 유리 클리쉐에 전이하고자 하는 패턴이 새겨져 있기 때문에 나노 임프린트 ...
연구내용 - 리니어 광학엔코더에 의해 90도 위상차를 갖는 정현파 신호를 이용하여 리사주 곡선을 얻는다. 특히, 상대적 세분화 오류에 의한 리사주 곡선에서 아크탄젠트 알고리즘을 사용하여 열변형을 계측한다. 이에 대한 신뢰도는 하이데만 방법에 의해 리사주 곡선식을 보정한 결과 신호품질(SQ)의 관계를 이용하여 검증한다. 즉, SQ값이 1에 가까울수록 정상적인 신호로 ...
기대효과 본 연구에 의해 ±1μm급의 중첩정확도를 달성할 경우, 유연 디스플레이의 구동부인 박막 트렌지스터의 집적도를 개선할 수 있다. 즉, 3μm의 선폭 패터닝 기술과 접목되어 픽셀 집적도인 PPI가 개선되므로 전광판 같은 대형 디스플레이 제조공정에도 활용이 가능하다. 또한, 해당 공정에서 얻은 인쇄압력 균일화 기술은 배터리 생산공정으로 확장 가능하므로 아래와 같...
키워드 유연 전자소자,연속 생산,중첩 정확도,열변형,패턴 위치정확도,레지스터 정렬정확도,리버스 옵셋 공정
위탁/공동여부 정보
단독연구 기업 대학 국공립(연)/출연(연) 외국연구기관 기타
기술 정보
연구개발단계 기초연구 산업기술분류
미래유망신기술(6T) IT(정보기술) 기술수명주기
연구수행주체 과학기술표준분류 인공물 > 기계 > 로봇/자동화기계 > 기계자동화기술
주력산업분류 적용분야 제조업(전기 및 기계장비)
중점과학기술분류 과제유형
과제수행기관(업) 정보
과제수행기관(업) 정보 과제수행기관(업)명 충남대학 사업자등록번호
연구책임자 소속기관명 충남대학 사업자등록번호
최종학위 박사 최종학력전공 공학
사업비
국비 201,639,000 지방비(현금+현물) 0
비고