| 연구목표 |
최근 유연 디스플레이, IoT 디바이스/센서, 배터리, 웨어러블 소자 등에 대한 시장의 요구가 증가됨에 따라, 기능성 잉크를 사용하여 유연 기판 위에 전자 또는 바이오 소자를 연속 생산할 수 있는 인쇄전자 공정이 주목받고 있다. 특히 리버스 오프셋 방식은 습식 식각 공정에 의해 가공된 유리 클리쉐에 전이하고자 하는 패턴이 새겨져 있기 때문에 나노 임프린트 ... |
| 연구내용 |
- 리니어 광학엔코더에 의해 90도 위상차를 갖는 정현파 신호를 이용하여 리사주 곡선을 얻는다. 특히, 상대적 세분화 오류에 의한 리사주 곡선에서 아크탄젠트 알고리즘을 사용하여 열변형을 계측한다. 이에 대한 신뢰도는 하이데만 방법에 의해 리사주 곡선식을 보정한 결과 신호품질(SQ)의 관계를 이용하여 검증한다. 즉, SQ값이 1에 가까울수록 정상적인 신호로 ... |
| 기대효과 |
본 연구에 의해 ±1μm급의 중첩정확도를 달성할 경우, 유연 디스플레이의 구동부인 박막 트렌지스터의 집적도를 개선할 수 있다. 즉, 3μm의 선폭 패터닝 기술과 접목되어 픽셀 집적도인 PPI가 개선되므로 전광판 같은 대형 디스플레이 제조공정에도 활용이 가능하다. 또한, 해당 공정에서 얻은 인쇄압력 균일화 기술은 배터리 생산공정으로 확장 가능하므로 아래와 같... |
| 키워드 |
유연 전자소자,연속 생산,중첩 정확도,열변형,패턴 위치정확도,레지스터 정렬정확도,리버스 옵셋 공정 |