과제 상세정보
목록유연 3차원 집적 CMOS 디지털 논리 회로 어레이 개발
작성자
관리자
조회수
166
등록일
2024-05-22
사업 정보
| 내역사업 | 신개념소자기초기술개발 |
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과제 기본정보
| 과제명 | 유연 3차원 집적 CMOS 디지털 논리 회로 어레이 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711153396 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2022 | 총연구기간 | 2021-03-04 ~ 2024-01-31 | 당해연도 연구기간 | 2022-03-01 ~ 2022-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | 본 연구는 기존 평면 소자의 집적화 한계를 극복하기 위해 3차원 수직 적층이 가능하고 저온 공정의 유연 논리 집적 회로 어레이 개발을 최종 목표로 한다. 이를 위하여 고이동도의 2차원/준2차원 나노판상 전이금속 칼코겐 화합물(ZnON 또는 MoS2)/칼코겐(Te)물질의 저온공정 성장부터 NMOS 및 PMOS 소자 개발을 진행하고자 한다. 저차원 나노소재 C... | ||
|---|---|---|---|
| 연구내용 | 1차년도: 논리 집적 회로 핵심 반도체 소재인 2D/준2D 대면적 성장 연구스퍼터를 이용한 ZnON 반도체의 저온 대면적 성장스퍼터 및 CVD를 이용한 2차원 전이금속 칼코겐 MoS2 대면적 성장스퍼터를 이용한 준2차원 나노구조 칼코겐 Te 대면적 성장2차년도: PMOS 및 NMOS 단위소자 제작 및 논리 회로 설계와 특성 평가저온공정 2D/준2D 물질 기... | ||
| 기대효과 | 본 연구는 저온 공정이 가능한 대면적 2D/준2D 나노물질 성장을 기반으로 NMOS/PMOS의 3D 수직 적층을 통한 유연 디지털 집적 회로 개발로서 3차원 집적 공정 도입 및 차세대 유연 디바이스의 고속 신호처리 구현을 위한 핵심기술의 발판이 될 것이다. 이 유연 3차원 집적 디지털 논리 회로 시스템은 국내외에서 활발히 연구가 진행되는 TSV (Throu... | ||
| 키워드 | 저온공정,2D 판상 구조,질산화물 반도체,고이동도,유연 소자,3D 집적,상보성 금속산화막 반도체,디지털 집적 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 응용연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | IT(정보기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 학 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 전기/전자 > 반도체소자·회로 > Sensor용 소자 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(전자부품,컴퓨터,영상,음향및통신장비) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 충남대학 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 충남대학 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 167,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||