과제 상세정보
목록오염입자 및 고에너지 플라즈마 내구성 평가 표준화 기술 개발
작성자
관리자
조회수
381
등록일
2024-05-22
사업 정보
| 내역사업 | 국가핵심소재연구단(플랫폼형) |
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과제 기본정보
| 과제명 | 오염입자 및 고에너지 플라즈마 내구성 평가 표준화 기술 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711153942 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2022 | 총연구기간 | 2020-08-24 ~ 2024-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2022-01-01 ~ 2022-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | 오염입자 측정 감도 개선 및 고출력 플라즈마 환경 소재 특성 평가법 가이드라인 개발, 내플라즈마 및 오염입자 발생 적용 평가 | ||
|---|---|---|---|
| 연구내용 | ◦ 고출력 플라즈마 환경 특성평가 및 평가법 개발 (세부) - 플라즈마 밀도 및 이온에너지별 소재 성능 평가 ◦ 노이즈 저감기술 도입 및 오염입자 진단계 고도화 (위탁) ◦ 오염입자 진단계 성능 검증 (측정 감도 5×106 cm-3) (위탁) ◦ 1, 2세부 개발 세라믹 소재의 내플라즈마·오염입자 발생 평가 (세부/위탁) - 데이터 베이스 ... | ||
| 기대효과 | (1) 기술적 기대효과 ◦ 국내 산업체의 원천기술 조기 실용화 지원 ◦ 반도체 생산 효율 향상 및 글로벌 초격차 유지 ◦ 플라즈마 공정환경 초미세 입자 정밀 진단기술 확보 ◦ 세라믹 소재 개발에 필요한 플라즈마-표면 상호작용 데이터베이스 확보 (2) 산업적 기대효과 ◦ 소재 성능평가 테스트베드 구축을 통한 혁신적 소재개발에 기여 ◦ 소재·부품·... | ||
| 키워드 | 내플라즈마 소재 평가, 고밀도 고에너지 플라즈마 평가시스템 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 기초연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 전기/전자 > 반도체장비 > 반도체장비용 핵심부품/제조장비 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(비금속광물 및 금속제품) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | (재)한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | (재)한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 500,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||