과제 상세정보
목록2차원 metal chalcogenides 기반 초고이동도 소자 및 모노리식 3차원 집적
작성자
관리자
조회수
431
등록일
2024-05-22
사업 정보
| 내역사업 | 신소자원천기술개발 |
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과제 기본정보
| 과제명 | 2차원 metal chalcogenides 기반 초고이동도 소자 및 모노리식 3차원 집적 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711156274 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2022 | 총연구기간 | 2020-07-01 ~ 2023-02-28 | 당해연도 연구기간 | 2022-01-01 ~ 2023-02-28 |
요약 정보
| 연구목표 | Bi2O2Se, MoS2 등 최근 각광 받고 있는 2차원 metal chalcogenides 기반으로 반도체 범용공정을 활용해 300도 이하 저온 대면적 성장공정, 이종접합 공정을 개발한다. Bi2O2Se는 300도의 저온 공정이 가능하고 저온에서도 결정화가 잘되어 수백 cm2/VS 이상의 전기 이동도가 기대된다. MoS2는 비정질 표면 위에 박막화 및 두... | ||
|---|---|---|---|
| 연구내용 | 2차원 metal chalcogenides (i.e. Bi2O2Se, MoS2) 저온 대면적 성장 공정 개발metal chalcogenides (i.e. Bi2O2Se, MoS2) 도핑 공정 개발 및 도핑 레벨 분석Ge/metal chalcogenides 이종 접합 구현 (결정성 향상, 선택 성장, 원자 단위 분석)metal chalcogenides 기반 ... | ||
| 기대효과 | 2차원 반도체 소재 기반 CMOS 소자 및 Si-CMOS와의 이종접합을 이용한 monolithic 3D 소자는 로직, 메모리, 광전자, 뉴로모픽, 인-메모리 소자로 활용할 수 있음. 광전자 소자중 흔히 활용되는 이미지 센서의 경우 인체에서 발생하는 신호를 이용해 질병을 진단하거나 피부의 상태를 측정하는 헬스케어 분야, 자율주행과 같이 사물과의 통신을 이용하... | ||
| 키워드 | 전이금속 칼코겐,전이금속 산소 칼코겐,CMOS,모노리식 3차원 집적,이종 집적,원자 단위 분석,도핑,저온 공 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 기초연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | IT(정보기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 학 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 전기/전자 > 반도체소자·회로 > 달리 분류되지 않는 반도체소자·회로 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 기타 공공목적 | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 한국과학기술원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 한국과학기술원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 501,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||