| 연구목표 |
본 연구에서는 패키지 기술과 칩 내 배선에 대한 소재 및 신뢰성 분야에서 재료, 공정 상의 체계적인 연구를 통하여 차세대 지능형 반도체 기술 개발을 수행함.고신뢰성 2.5D/3D CPI를 위한 접합 소재 및 접합 기술 개발 - Chip to Interposer 접속을 위한 비전도성 필름(NCFs) 개발 - Solder flip chip bump 구조를 ... |
| 연구내용 |
1. 고신뢰성 2.5D/3D CPI를 위한 접합 소재 및 접합 기술 개발- Sn-Ag Solder bump 구조를 가지는 Chip과 Interposer 설계 및 제작NCFs의 YDCN, YDPN631 함량 조절 및 물성 분석을 통한 최적화된 NCFs 개발 완료- Curing Peak temperature에 따른 Solder joint 관찰 및 Daisy c... |
| 기대효과 |
활용계획 - 2.5/3D CPI 재료 및 공정 기술은 20㎛ 범프 피치를 갖는 차세대 HBM 모듈의 접합 및 현재 핵심 반도체 기술인 AP프로세서 및 모듈 부분에 3D TSV를 이용한 칩 적층 기술을 적용하여 TSV 적층 소재를 곧바로 산업에 응용할 수 있음 - 미세화 과정에서 Cu 배선을 효과적으로 대체해 배선의 미세화와 R/C delay 문제를 동시... |
| 키워드 |
전자 패키징,실리콘 관통전극,고대역폭 메모리,비전도 접속 필름,저전력 반도체,원자층증착법,비저항,신뢰성 |