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자유곡면 대응 나노제조공정·시스템 개발

작성자

관리자

조회수

141

등록일

2024-05-22

사업 정보
내역사업 기존과제(나노·소재원천기술개발사업)
과제 기본정보
과제명 자유곡면 대응 나노제조공정·시스템 개발
과제고유번호 1711156886
부처명 과학기술정보통신부
시행계획 내 사업명
시행계획 내 사업유형 예산출처지역 대전광역시 사업수행지역 대전광역시
계속/신규 과제구분 신규과제
과제수행연도 2022 총연구기간 2017-07-01 ~ 2022-06-30 당해연도 연구기간 2022-01-01 ~ 2022-06-30
요약 정보
연구목표 □ 유연기판 위에 나노-마이크로 복합구조체를 제작할 수 있는 다자유도 선택적 레이저-나노임프린트 시스템 (LAS-NIL) 개발 및 질병 모니터링 소자 제작□ 자유곡면 형상 유연기판의 나노/마이크로 구조체 제작 공정원천 기술개발□ 질병진단을 위한 광학적 간섭신호 검출용 기능성 패턴 설계 및 제작□ 질병 모니터링을 위한 플랫폼 개발 및 초소형 플랫폼 소자 집적...
연구내용 □ 유연기판 위에 나노-마이크로 복합구조체를 제작할 수 있는 LAS-NIL Prototype II 개발 ○ 나노-마이크로 복합구조체 제작용 LAS_NIL Prototype에서 각 모듈의 integration 연구□ 생체친화물질 기반 나노구조체 제작공정 구현: 최소패턴 크기 100nm ○ 생체 적합성 소재 적용, 임프린트 기반 곡면 나노패터닝 공정기술...
기대효과 □ 자유곡면 상 나노패터닝 공정 장비 분야는 자유곡면 상 직접 패터닝이 가능한 점을 바탕으로 고신뢰성, 고수율의 탈평면 나노소자 제조가 가능하여 제조비용 절감 및 고가의 해외 평면 나노공정장비의 수입대체 효과에 대한 기대가 가능함□ 본 연구를 통하여 개발될 자유곡면 상 나노공정 기술은 차세대 유연 필름 기판 및 인체 표면과 같은 탈평면 기판을 대상으로 기능...
키워드 자유곡면,나노마이크로구조체,나노패터닝 시스템,플라즈모닉 나노프로프,나노임프린트,레이저 복합 패터닝,생체친화소
위탁/공동여부 정보
단독연구 기업 대학 국공립(연)/출연(연) 외국연구기관 기타
기술 정보
연구개발단계 개발연구 산업기술분류
미래유망신기술(6T) NT(나노기술) 기술수명주기
연구수행주체 과학기술표준분류 인공물 > 기계 > 나노/마이크로기계시스템 > 달리 분류되지 않는 나노/마이크로 기계시스템
주력산업분류 적용분야 건강
중점과학기술분류 과제유형
과제수행기관(업) 정보
과제수행기관(업) 정보 과제수행기관(업)명 한국기계연구원 사업자등록번호
연구책임자 소속기관명 한국기계연구원 사업자등록번호
최종학위 박사 최종학력전공 공학
사업비
국비 248,000,000 지방비(현금+현물) 0
비고