| 연구목표 |
□ 유연기판 위에 나노-마이크로 복합구조체를 제작할 수 있는 다자유도 선택적 레이저-나노임프린트 시스템 (LAS-NIL) 개발 및 질병 모니터링 소자 제작□ 자유곡면 형상 유연기판의 나노/마이크로 구조체 제작 공정원천 기술개발□ 질병진단을 위한 광학적 간섭신호 검출용 기능성 패턴 설계 및 제작□ 질병 모니터링을 위한 플랫폼 개발 및 초소형 플랫폼 소자 집적... |
| 연구내용 |
□ 유연기판 위에 나노-마이크로 복합구조체를 제작할 수 있는 LAS-NIL Prototype II 개발 ○ 나노-마이크로 복합구조체 제작용 LAS_NIL Prototype에서 각 모듈의 integration 연구□ 생체친화물질 기반 나노구조체 제작공정 구현: 최소패턴 크기 100nm ○ 생체 적합성 소재 적용, 임프린트 기반 곡면 나노패터닝 공정기술... |
| 기대효과 |
□ 자유곡면 상 나노패터닝 공정 장비 분야는 자유곡면 상 직접 패터닝이 가능한 점을 바탕으로 고신뢰성, 고수율의 탈평면 나노소자 제조가 가능하여 제조비용 절감 및 고가의 해외 평면 나노공정장비의 수입대체 효과에 대한 기대가 가능함□ 본 연구를 통하여 개발될 자유곡면 상 나노공정 기술은 차세대 유연 필름 기판 및 인체 표면과 같은 탈평면 기판을 대상으로 기능... |
| 키워드 |
자유곡면,나노마이크로구조체,나노패터닝 시스템,플라즈모닉 나노프로프,나노임프린트,레이저 복합 패터닝,생체친화소 |