과제 상세정보
목록고분해능 자외선 렌즈모듈 원천기술 개발
작성자
관리자
조회수
171
등록일
2024-05-22
사업 정보
| 내역사업 | 함께달리기 |
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과제 기본정보
| 과제명 | 고분해능 자외선 렌즈모듈 원천기술 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711157217 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2022 | 총연구기간 | 2021-04-26 ~ 2025-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2022-01-01 ~ 2022-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | 본 연구과제는 단결정 CaF2 소재를 이용한 반도체 웨이퍼 미세패턴 결함 검사장비용 고분해능 자외선 렌즈 모듈을 개발하는 것을 목표로 한다. 이를 위해 파장 193 nm의 자외선 영역에서 집광능력이 높은 개구수(NA) 0.8 이상의 광학설계를 기반으로, 투과파면오차 및 광산란 최소화를 위한 고품위 가공 및 측정방법 개발, 그리고 나노미터급의 초정밀 렌즈 정... | ||
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| 연구내용 | ○ 고분해능 자외선 렌즈 광학/광기계 설계 기술개발 - 파장 193 nm 고분해능 자외선 렌즈 광학설계 (1단계 ≥NA0.8, 2단계 ≥NA0.9) - 경량 비열화 렌즈마운트 최적설계 - 환경변화에 따른 응력 해석을 통한 파면왜곡 최소화 설계기술 개발○ 초정밀 렌즈 가공 원천기술 개발 - 고품질 광학형상가공 및 표면거칠기 구현을 위한 연마공정 원천기술 개발... | ||
| 기대효과 | ○ 19년 수입액 713백만불인 반도체 검사장비용 핵심부품인 자외선렌즈를 국산화함으로써, 국내 반도체 검사장비 업체의 시장경쟁력 강화와 이를 통한 수출 기대.○ 고분해능 렌즈 설계 및 초정밀 측정·가공·정렬 기술 내재화 및 산업생태계 강화○ 반도체 및 디스플레이 공정용 자외선렌즈 제작 인프라 구축 - 차세대 EUV 반도체 공정용 극자외선 광부품 제작 기초기... | ||
| 키워드 | 자외선 렌즈,광학설계,비구면 렌즈,반도체 웨이퍼 검사,광학 측정,레이저 간섭계,초정밀 가공,파면오차 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 전기/전자 > 광응용기기 > 광부품 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(의료,정밀,광학기기및시계) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | (재)한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | (재)한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 1,150,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||