과제 상세정보
목록EUV용 흡수/투과 소재의 기계적/열적/화학적 물성 평가 시스템 구축
작성자
관리자
조회수
238
등록일
2024-05-22
사업 정보
| 내역사업 | 국가핵심소재연구단(플랫폼형) |
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과제 기본정보
| 과제명 | EUV용 흡수/투과 소재의 기계적/열적/화학적 물성 평가 시스템 구축 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711157877 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2022 | 총연구기간 | 2020-05-15 ~ 2024-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2022-01-01 ~ 2022-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | ■ EUV용 흡수/투과 소재의 품질평가를 위한 기계적/열적/화학적 신뢰성 평가 절차 확립 • EUV 흡수/투과 소재 특성 평가 - 측정 절차서/가이드 4건 - 물리적 특성 및 화학적 내구성 평가 절차 확립 - 화학적 내구성 평가용 수소플라즈마 발생 장치 구축 • 개발 소재 성능평가 분석플랫폼 구축 개발 - 기업체 기술이전 (기술료 0.9억원) - EU... | ||
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| 연구내용 | ■ 1단계(2020~2022, 3년) • EUV 투과/흡수층 소재 표면특성 평가 - EUV에 의한 박막 소재 표면 거칠기 및 결정립 변화 분석 · 거칠기 분석 < 1 nm(RMS), 결정립 크기에 의한 Correlation length 분석 - EUV 박막 소재 열전도 측정 기술 개발 · 멤브레인 박막의 in-plane 열전도 측정 기술 개발 -... | ||
| 기대효과 | ■ 기술적 성과 • 평가기술을 보유하고 있는 국외의 선진 소재업체/연구기관에 대한 의존성을 탈피하고 신뢰성 있는 평가시스템을 국내에 구축함■ 사업화 성과 • EUV용 소재의 평가시스템 및 소재물성 라이브러리를 구축하여, 관련 소재 부품의 개발 및 국산화에 기여 • 소재의 개발과 평가인증 절차를 앞당겨 발명과 개발, 양산에 이르는 과정의 속도를 극대화 | ||
| 키워드 | 극자외선 노광 기술, 극자외선 노광 블랭크 마스크, 극자외선 마스크 펠리클, 소재평가, 기계적 성질, 화학적 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 재료 > 분석/물성평가기술 > 물리적 특성평가 기술 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(전자부품,컴퓨터,영상,음향및통신장비) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | (재)한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | (재)한국표준과학연구원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 이학 |
사업비
| 국비 | 380,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||