산화갈륨 에피층 및 도핑층의 구조분석 및 원자단위 분석 기술 개발
과제 기본정보
| 과제명 |
산화갈륨 에피층 및 도핑층의 구조분석 및 원자단위 분석 기술 개발 |
| 과제고유번호 |
1711157891 |
| 부처명 |
과학기술정보통신부 |
| 시행계획 내 사업명 |
|
| 시행계획 내 사업유형 |
|
예산출처지역 |
대전광역시 |
사업수행지역 |
대전광역시 |
| 계속/신규 과제구분 |
신규과제 |
| 과제수행연도 |
2022 |
총연구기간 |
2020-05-15 ~
2024-12-31
|
당해연도 연구기간 |
2022-01-01 ~
2022-12-31
|
요약 정보
| 연구목표 |
○ 산화갈륨 기판 및 에피층의 구조 결함 양상 파악 및 해석 ○ 산화갈륨 에피소재 에피층의 원자단위 구조분석기술 개발 적용○ 이동도 향상을위한 다층채널층계면 및 결함의 원자단위분석기술개발 적용○ 에피 채널층 캐리어 분포의 현미경적 2차원/3차원 분석기술개발 적용○ 단위 공정별 소자 및 소재 이슈 평가기술 지원 |
| 연구내용 |
3차년도 연구 내용○ 산화갈륨 채널층의 원자단위 결함 분석 및 해석-산화갈륨 에피층에 존재하는 구조결함의 관찰, 분석 및 해석○ 단위 공정별 소자 및 소재 이슈에 대한 분석 지원-소자 제작 공정에 있어 소자 구조에 대한 분석 |
| 기대효과 |
○ 전력반도체 소자 제작을 위한 산화갈륨 기판 소재의 구조결함 평가 및 공급되는 기판의 품질을 평가 할 수 있는 평가법을 제공하여 활용. ○ 전력반도체 소자응용을 위한 산화갈륨 단결정 개발에 있어 단결정의 결정품질을 평가할 수 있는 방법을 제시하여 활용.○ 전력반도체 소자 제작을 위한 산화갈륨 에피 소재의 구조결함 평가법을 제공하여 활용. ○ 산화갈륨 기반... |
| 키워드 |
산화갈륨, 구조결함, 투과전자현미경, 에피층 |
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 |
기업 |
대학 |
국공립(연)/출연(연) |
외국연구기관 |
기타 |
|
|
|
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|
|
기술 정보
| 연구개발단계 |
개발연구 |
산업기술분류 |
|
| 미래유망신기술(6T) |
NT(나노기술) |
기술수명주기 |
|
| 연구수행주체 |
학 |
과학기술표준분류 |
인공물 > 재료 > 분석/물성평가기술 > 재료구조/조직 분석기술 |
| 주력산업분류 |
|
적용분야 |
에너지 |
| 중점과학기술분류 |
|
과제유형 |
|
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 |
과제수행기관(업)명 |
충남대학 |
사업자등록번호 |
|
| 연구책임자 |
소속기관명 |
충남대학 |
사업자등록번호 |
|
| 최종학위 |
박사 |
최종학력전공 |
공학 |
사업비
| 국비 |
95,000,000
|
지방비(현금+현물) |
0
|
| 비고 |
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과제 기본정보
| 과제명 |
산화갈륨 에피층 및 도핑층의 구조분석 및 원자단위 분석 기술 개발 |
| 과제고유번호 |
1711157891 |
| 부처명 |
과학기술정보통신부 |
| 시행계획 내 사업명 |
|
| 시행계획 내 사업유형 |
|
| 예산출처지역 |
대전광역시 |
| 사업수행지역 |
대전광역시 |
| 계속/신규 과제구분 |
신규과제 |
| 과제수행연도 |
2022 |
| 총연구기간 |
2020-05-15 ~
2024-12-31
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| 당해연도 연구기간 |
2022-01-01 ~
2022-12-31
|
요약 정보
| 연구목표 |
○ 산화갈륨 기판 및 에피층의 구조 결함 양상 파악 및 해석 ○ 산화갈륨 에피소재 에피층의 원자단위 구조분석기술 개발 적용○ 이동도 향상을위한 다층채널층계면 및 결함의 원자단위분석기술개발 적용○ 에피 채널층 캐리어 분포의 현미경적 2차원/3차원 분석기술개발 적용○ 단위 공정별 소자 및 소재 이슈 평가기술 지원 |
| 연구내용 |
3차년도 연구 내용○ 산화갈륨 채널층의 원자단위 결함 분석 및 해석-산화갈륨 에피층에 존재하는 구조결함의 관찰, 분석 및 해석○ 단위 공정별 소자 및 소재 이슈에 대한 분석 지원-소자 제작 공정에 있어 소자 구조에 대한 분석 |
| 기대효과 |
○ 전력반도체 소자 제작을 위한 산화갈륨 기판 소재의 구조결함 평가 및 공급되는 기판의 품질을 평가 할 수 있는 평가법을 제공하여 활용. ○ 전력반도체 소자응용을 위한 산화갈륨 단결정 개발에 있어 단결정의 결정품질을 평가할 수 있는 방법을 제시하여 활용.○ 전력반도체 소자 제작을 위한 산화갈륨 에피 소재의 구조결함 평가법을 제공하여 활용. ○ 산화갈륨 기반... |
| 키워드 |
산화갈륨, 구조결함, 투과전자현미경, 에피층 |
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 |
기업 |
대학 |
국공립(연)/출연(연) |
외국연구기관 |
기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 |
개발연구 |
| 산업기술분류 |
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| 미래유망신기술(6T) |
NT(나노기술) |
| 기술수명주기 |
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| 연구수행주체 |
학 |
| 과학기술표준분류 |
인공물 > 재료 > 분석/물성평가기술 > 재료구조/조직 분석기술 |
| 주력산업분류 |
|
| 적용분야 |
에너지 |
| 중점과학기술분류 |
|
| 과제유형 |
|
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 |
| 과제수행기관(업)명 |
충남대학 |
| 사업자등록번호 |
|
| 연구책임자 |
| 소속기관명 |
충남대학 |
| 사업자등록번호 |
|
| 최종학위 |
박사 |
| 최종학력전공 |
공학 |
사업비
| 국비 |
95,000,000
|
| 지방비(현금+현물) |
0
|
| 비고 |
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