과제 상세정보
목록자외선 렌즈용 반사방지 코팅 원천기술 개발
작성자
관리자
조회수
180
등록일
2024-05-22
사업 정보
| 내역사업 | 함께달리기 |
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과제 기본정보
| 과제명 | 자외선 렌즈용 반사방지 코팅 원천기술 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711158633 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2022 | 총연구기간 | 2021-04-26 ~ 2025-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2022-01-01 ~ 2022-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | 본 세부 과제는 공기-비평면 CaF2 계면에서 발생하는 193 nm 자외선 반사를 억제하는 반사방지 코팅기술을 개발하고, 이를 개별 CaF2 자외선 렌즈에 적용하여 다수의 렌즈로 이루어진 CaF2 자외선 렌즈 시스템의 전반적인 투과율과 해상도를 개선한다. 불화물 계열의 다층박막 및 나노구조를 이용하여 전방향 입사각에 대해 반사방지 특성을 유지하는 자외선 렌... | ||
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| 연구내용 | 1단계: 자외선 렌즈용 반사방지 코팅 소재·공정·설계 원천기술 개발1) 반사방지 코팅 소재·구조 설계 및 기하-파동광학 통합 시뮬레이션 기법 개발- 자외선 흡수가 없고, 화학적으로 안정한 자외선 영역 저굴절률 투명 소재 탐색 및 전방향 반사방지 구조 설계 - 반사방지 구조 코팅 렌즈의 성능 예측 위한 기하-파동광학 통합 시뮬레이션 개발 2) 반사방지 코팅... | ||
| 기대효과 | 1) 자외선 반사방지 코팅 기술 반도체 검사기 적용 및 일반 광학계 확대 적용193 nm 자외선 반도체 패턴 결함 검사기 및 노광 장비 성능 고도화CaF2 렌즈 결합 특수 카메라 개발 · 고효율 극자외선 살균기, 고해상도 중적외선 열화상 카메라산란 억제 나노구조 기반 반사방지 코팅 기술 광전자기기 응용 · 태양전지 광흡수효율, Lidar 센서 커버 투명... | ||
| 키워드 | 자외선 광학,193 nm,반사방지 코팅,굴절률 제어,연속변화 굴절률,비평면 증착,금속 불소화합물,다층박막 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
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| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 연 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 재료 > 세라믹재료 > 광/전자세라믹스 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(전자부품,컴퓨터,영상,음향및통신장비) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 한국화학연구원 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 한국화학연구원 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 이학 |
사업비
| 국비 | 550,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||