과제 상세정보
목록미래 소자구현을 위한 3세대 HBP-ALE(고비등점 원자층식각) 원천기술 및 표면반응 메커니즘 연구
작성자
관리자
조회수
86
등록일
2024-05-22
사업 정보
| 내역사업 | (유형1-2)중견연구 |
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과제 기본정보
| 과제명 | 미래 소자구현을 위한 3세대 HBP-ALE(고비등점 원자층식각) 원천기술 및 표면반응 메커니즘 연구 | ||||
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| 과제고유번호 | 1711169294 | ||||
| 부처명 | 과학기술정보통신부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2022 | 총연구기간 | 2020-03-01 ~ 2023-02-28 | 당해연도 연구기간 | 2022-03-01 ~ 2023-02-28 |
요약 정보
| 연구목표 | |||
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| 연구내용 | |||
| 기대효과 | |||
| 키워드 | |||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 기초연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | NT(나노기술) | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 학 | 과학기술표준분류 | 인공물 > 전기/전자 > 반도체장비 > 에칭장비 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 제조업(전기 및 기계장비) | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | 대전대학 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | 대전대학 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 박사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 200,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||
연구보고서