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4. 산업계 지원 및 미래유망 기계기술 기획
EUVL 마스크 검사용 초정밀 정렬/스캐닝 이송 장치 상용화 기술 개발2020
한국기계연구원
2020-01-01 ~ 2020-12-31
국가핵심소재연구단(플랫폼형)
EUV용 흡수/투과 소재의 기계적/열적/화학적 물성 평가 시스템 구축2021
(재)한국표준과학연구원
2021-01-15 ~ 2021-12-31
소재혁신선도 프로젝트
EUV용 흡수/투과 소재의 기계적/열적/화학적 물성 평가 시스템 구축2020
한국표준과학연구원
2020-05-15 ~ 2021-02-14
국가핵심소재연구단(플랫폼형)
EUV용 흡수/투과 소재의 기계적/열적/화학적 물성 평가 시스템 구축2022
(재)한국표준과학연구원
2022-01-01 ~ 2022-12-31