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스마트공장제조핵심기술개발사업
공장 없는 제조를 위한 오픈 디자인엔지니어링 기반 개방형 제조 서비스 시스템 기술 개발2020
(주)부품디비
2020-01-01 ~ 2020-12-31
에너지수요관리핵심기술개발(에특)(R&D)
공장 에너지관리 시스템(FEMS) 보급형 표준 플랫폼 개발 및 실증2020
한국전자통신연구원
2020-05-01 ~ 2020-12-31
에너지수요관리핵심기술개발(에특)(R&D)
공장 에너지관리 시스템(FEMS) 보급형 표준 플랫폼 개발 및 실증2021
한국전자통신연구원
2021-01-01 ~ 2021-12-31
에너지수요관리핵심기술개발(에특)(R&D)
공장 에너지관리 시스템(FEMS) 보급형 표준 플랫폼 개발 및 실증2022
한국전자통신연구원
2022-01-01 ~ 2022-12-31
KOREA CCS 2020 사업
공정 실증 및 소재 성능평가기반 연구2020
(재)한국이산화탄소포집및처리연구개발센터
2020-02-01 ~ 2020-10-31
지역주력산업육성
공정 웨이퍼 상의 복합 이온성 오염에 대한 ppb급 고감도 신속 인라인 검사 시스템 개발2021
(주)위드텍
2021-01-01 ~ 2021-12-31
지역주력산업육성
공정 웨이퍼 상의 복합 이온성 오염에 대한 ppb급 고감도 신속 인라인 검사 시스템 개발2020
(주)위드텍
2020-05-01 ~ 2021-12-31
공정고도화 지원, 나노전문인력 양성 및 일자리 지원, 나노 Open Innovation Lab 협력사업, 장비시스템구축비, 시설보수사업, 반도체 장비부품소재 테스트베드 구축
공정고도화 지원2020
나노종합기술원
2020-01-01 ~ 2020-12-31