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에너지수요관리핵심기술개발(에특)(R&D)
공장 에너지관리 시스템(FEMS) 보급형 표준 플랫폼 개발 및 실증2022
한국전자통신연구원
2022-01-01 ~ 2022-12-31
KOREA CCS 2020 사업
공정 실증 및 소재 성능평가기반 연구2020
(재)한국이산화탄소포집및처리연구개발센터
2020-02-01 ~ 2020-10-31
지역주력산업육성
공정 웨이퍼 상의 복합 이온성 오염에 대한 ppb급 고감도 신속 인라인 검사 시스템 개발2021
(주)위드텍
2021-01-01 ~ 2021-12-31
지역주력산업육성
공정 웨이퍼 상의 복합 이온성 오염에 대한 ppb급 고감도 신속 인라인 검사 시스템 개발2020
(주)위드텍
2020-05-01 ~ 2021-12-31
연구산업혁신성장지원(주문연구기업창업지원)
공정 자동화를 위한 딥러닝 기반 로봇 학습 비용 감소 기술 개발2023
(주)토트
2023-01-01 ~ 2023-12-31
공정고도화 지원, 나노전문인력 양성 및 일자리 지원, 나노 Open Innovation Lab 협력사업, 장비시스템구축비, 시설보수사업, 반도체 장비부품소재 테스트베드 구축
공정고도화 지원2020
나노종합기술원
2020-01-01 ~ 2020-12-31
2020년도 창업성장기술개발사업 '디딤돌 창업과제(첫걸음)' 제2차 시행계획 공고
공정성 및 신뢰성이 향상된 반도체 패키지용 감광성 폴리이미드 양산 기술 개발2021
(주)파이솔루션테크놀로지
2021-01-01 ~ 2021-12-30
2020년도 창업성장기술개발사업 '디딤돌 창업과제(첫걸음)' 제2차 시행계획 공고
공정성 및 신뢰성이 향상된 반도체 패키지용 감광성 폴리이미드 양산 기술 개발2020
파이솔루션테크놀로지
2020-12-31 ~ 2021-12-30