지식재산권 상세
목록이온 밀링 전처리 시스템의 스테이지 가스관 접속 구조
작성자
관리자
조회수
21
등록일
2024-04-11
지식재산권 상세정보
| 과제 | 공동음극형 고전류 소형집속 이온건을 적용한 고속(1mm급) 나노식각 및 단면가공 장비 상용화 개발 | ||||
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| 지식재산권명 | 이온 밀링 전처리 시스템의 스테이지 가스관 접속 구조 | ||||
| 성과고유번호 | app-2020-0000052460 | 성과발생연도 | 2020 | 국내외구분 | 국내 |
| 출원/등록번호 | 10-2167-3610000 | 출원/등록일자 | 2020-10-13 | 출원/등록기관 | (주)코셈 |
| 출원/등록기관 사업자등록번호 | 특허유형 | 특허 | 출원/등록구분 | 출원 | |
| 기여율 | 100.0 % | 공개여부 | 공개 | ||
| 증빙자료 | |||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-04-11 PM 02시 19분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 34분 | ||
지식재산권 원문