지식재산권 상세
목록운송 인클로저 내부 오염도 측정 및 운송 인클로저에 포함된 웨이퍼의 표면오염 동시 측정 시스템.
작성자
관리자
조회수
27
등록일
2024-04-11
지식재산권 상세정보
| 과제 | 공정 웨이퍼 상의 복합 이온성 오염에 대한 ppb급 고감도 신속 인라인 검사 시스템 개발 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 지식재산권명 | 운송 인클로저 내부 오염도 측정 및 운송 인클로저에 포함된 웨이퍼의 표면오염 동시 측정 시스템. | ||||
| 성과고유번호 | PTO-2020-00211673863 | 성과발생연도 | 2020 | 국내외구분 | 국내 |
| 출원/등록번호 | 10-2020-0098003 | 출원/등록일자 | 2020-08-05 | 출원/등록기관 | 주식회사 위드텍 |
| 출원/등록기관 사업자등록번호 | 특허유형 | 특허 | 출원/등록구분 | 출원 | |
| 기여율 | 100.0 % | 공개여부 | 공개 | ||
| 증빙자료 | |||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-04-11 PM 02시 20분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 34분 | ||
지식재산권 원문