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정렬오차 보정이 가능한 반사형 FPM 및 이를 이용한 보정방법

작성자

관리자

조회수

33

등록일

2024-04-11

지식재산권 상세정보
과제 첨단측정장비 핵심기술 개발
지식재산권명 정렬오차 보정이 가능한 반사형 FPM 및 이를 이용한 보정방법
성과고유번호 PTO-2020-00211599209 성과발생연도 2020 국내외구분 국내
출원/등록번호 10-2020-0122083 출원/등록일자 2020-09-22 출원/등록기관 한국표준과학연구원
출원/등록기관 사업자등록번호 특허유형 특허 출원/등록구분 출원
기여율 50.0 % 공개여부 공개
증빙자료
최초등록 관리자, 2024-04-11 PM 02시 21분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 35분