지식재산권 상세
목록마스크 정렬을 위한 Z/Tilt 스테이지 및 제어 시스템
작성자
관리자
조회수
25
등록일
2024-04-11
지식재산권 상세정보
| 과제 | EUVL 마스크 검사용 초정밀 정렬/스캐닝 이송 장치 상용화 기술 개발 | ||||
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| 지식재산권명 | 마스크 정렬을 위한 Z/Tilt 스테이지 및 제어 시스템 | ||||
| 성과고유번호 | PTO-2020-00211616553 | 성과발생연도 | 2020 | 국내외구분 | 국내 |
| 출원/등록번호 | 10-2020-0025053 | 출원/등록일자 | 2020-02-28 | 출원/등록기관 | 한국기계연구원 |
| 출원/등록기관 사업자등록번호 | 특허유형 | 특허 | 출원/등록구분 | 출원 | |
| 기여율 | 50.0 % | 공개여부 | 공개 | ||
| 증빙자료 | |||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-04-11 PM 02시 21분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 35분 | ||
지식재산권 원문