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멤스 소자 및 멤스 디바이스의 제조 방법

작성자

관리자

조회수

22

등록일

2024-04-11

지식재산권 상세정보
과제 공정고도화 지원
지식재산권명 멤스 소자 및 멤스 디바이스의 제조 방법
성과고유번호 pub-2020-0000028833 성과발생연도 2020 국내외구분 국내
출원/등록번호 10-2183-0820000 출원/등록일자 2020-11-19 출원/등록기관 한국과학기술원
출원/등록기관 사업자등록번호 특허유형 특허 출원/등록구분 등록
기여율 33.33 % 공개여부 공개
증빙자료
최초등록 관리자, 2024-04-11 PM 02시 21분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 35분