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노광 각도가 조절된 근접장 패터닝을 이용한 나노구조의 조절 및 제작

작성자

관리자

조회수

27

등록일

2024-04-11

지식재산권 상세정보
과제 대면적 3차원 계층적 다공성 나노구조체의 친환경 응용 연구
지식재산권명 노광 각도가 조절된 근접장 패터닝을 이용한 나노구조의 조절 및 제작
성과고유번호 PTR-2020-00211281001 성과발생연도 2020 국내외구분 국내
출원/등록번호 10-2020-0071343 출원/등록일자 2020-06-12 출원/등록기관 삼성전자주식회사 ; 한국과학기술원
출원/등록기관 사업자등록번호 특허유형 특허 출원/등록구분 출원
기여율 33.33 % 공개여부 공개
증빙자료
최초등록 관리자, 2024-04-11 PM 02시 46분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 35분