R&D 정보

지식재산권 상세

목록

수로 구조 냉각 고출력 아이솔레이터

작성자

관리자

조회수

24

등록일

2024-04-11

지식재산권 상세정보
과제 (2단계 : 기술개발) 마이크로파(2.45GHz) 플라즈마 시스템용 지능제어 RF Front End Unit(RFEU) 개발
지식재산권명 수로 구조 냉각 고출력 아이솔레이터
성과고유번호 PTO-2020-00211674467 성과발생연도 2020 국내외구분 국내
출원/등록번호 10-2020-0180486 출원/등록일자 2020-12-22 출원/등록기관 (주)에드모텍
출원/등록기관 사업자등록번호 특허유형 특허 출원/등록구분 출원
기여율 100.0 % 공개여부 공개
증빙자료
최초등록 관리자, 2024-04-11 PM 02시 46분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 35분