지식재산권 상세
목록운송 인클로저 내부 오염도 측정 및 운송 인클로저에 포함된 웨이퍼의 표면오염 동시 측정 시스템.
작성자
관리자
조회수
31
등록일
2024-04-11
지식재산권 상세정보
| 과제 | 공정 웨이퍼 상의 복합 이온성 오염에 대한 ppb급 고감도 신속 인라인 검사 시스템 개발 | ||||
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| 지식재산권명 | 운송 인클로저 내부 오염도 측정 및 운송 인클로저에 포함된 웨이퍼의 표면오염 동시 측정 시스템. | ||||
| 성과고유번호 | pub-2021-0000022928 | 성과발생연도 | 2021 | 국내외구분 | 국내 |
| 출원/등록번호 | 1022176380000 | 출원/등록일자 | 2021-02-15 | 출원/등록기관 | 주식회사 위드텍 |
| 출원/등록기관 사업자등록번호 | 특허유형 | 특허 | 출원/등록구분 | 등록 | |
| 기여율 | 100.0 % | 공개여부 | 공개 | ||
| 증빙자료 | |||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-04-11 PM 02시 49분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 36분 | ||
지식재산권 원문