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MEM 컨트롤러에 대한 원자 레이어 증착 방법

작성자

관리자

조회수

28

등록일

2024-04-11

지식재산권 상세정보
과제 실리콘 위상배열 기반 스마트 3D 영상센서 개발
지식재산권명 MEM 컨트롤러에 대한 원자 레이어 증착 방법
성과고유번호 app_2021_0000004482 성과발생연도 2021 국내외구분 국내
출원/등록번호 1020210193535 출원/등록일자 2021-12-30 출원/등록기관 재단법인대구경북과학기술원
출원/등록기관 사업자등록번호 특허유형 특허 출원/등록구분 출원
기여율 100.0 % 공개여부 공개
증빙자료
최초등록 관리자, 2024-04-11 PM 02시 52분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 37분