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유기금속화학기상증착 방법을 이용한 Bi2O2Se 박막 제조방법 및 장치

작성자

관리자

조회수

25

등록일

2024-04-11

지식재산권 상세정보
과제 2차원 metal chalcogenides 기반 초고이동도 소자 및 모노리식 3차원 집적
지식재산권명 유기금속화학기상증착 방법을 이용한 Bi2O2Se 박막 제조방법 및 장치
성과고유번호 PTR-2021-00212084253 성과발생연도 2021 국내외구분 국내
출원/등록번호 PCT/KR2021/009718 출원/등록일자 2021-07-27 출원/등록기관 한국과학기술원
출원/등록기관 사업자등록번호 특허유형 특허 출원/등록구분 출원
기여율 40.0 % 공개여부 공개
증빙자료
최초등록 관리자, 2024-04-11 PM 02시 55분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 38분