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대면적 자유형상 광부품에 대한 비접촉식 검사장치와 방법

작성자

관리자

조회수

32

등록일

2024-04-11

지식재산권 상세정보
과제 위상측정 광선편향법을 이용한 대면적 자유형상 비접촉식 고분해능/고속 검사 장치 개발
지식재산권명 대면적 자유형상 광부품에 대한 비접촉식 검사장치와 방법
성과고유번호 PTO-2021-00212126793 성과발생연도 2021 국내외구분 국내
출원/등록번호 1020210018010 출원/등록일자 2021-02-09 출원/등록기관 (주)와이엔디케이
출원/등록기관 사업자등록번호 특허유형 특허 출원/등록구분 출원
기여율 100.0 % 공개여부 공개
증빙자료
최초등록 관리자, 2024-04-11 PM 02시 57분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 39분