지식재산권 상세
목록헬리콘 플라즈마 빔 극자외선 발생 장치
작성자
관리자
조회수
39
등록일
2024-04-11
지식재산권 상세정보
| 과제 | 오염입자 및 고에너지 플라즈마 내구성 평가 표준화 기술 개발 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 지식재산권명 | 헬리콘 플라즈마 빔 극자외선 발생 장치 | ||||
| 성과고유번호 | PTR-2021-00212101536 | 성과발생연도 | 2021 | 국내외구분 | 국내 |
| 출원/등록번호 | 1020210022899 | 출원/등록일자 | 2021-02-19 | 출원/등록기관 | 한국표준과학연구원 |
| 출원/등록기관 사업자등록번호 | 특허유형 | 특허 | 출원/등록구분 | 출원 | |
| 기여율 | 14.29 % | 공개여부 | 공개 | ||
| 증빙자료 | |||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-04-11 PM 02시 58분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 39분 | ||
지식재산권 원문