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가변 부하를 가진 이중 방향성 결합기

작성자

관리자

조회수

26

등록일

2024-04-11

지식재산권 상세정보
과제 (2단계 : 기술개발) 마이크로파(2.45GHz) 플라즈마 시스템용 지능제어 RF Front End Unit(RFEU) 개발
지식재산권명 가변 부하를 가진 이중 방향성 결합기
성과고유번호 PTO-2021-00212219298 성과발생연도 2021 국내외구분 국내
출원/등록번호 17/530112 출원/등록일자 2021-11-18 출원/등록기관 (주)에드모텍
출원/등록기관 사업자등록번호 특허유형 특허 출원/등록구분 출원
기여율 50.0 % 공개여부 공개
증빙자료
최초등록 관리자, 2024-04-11 PM 03시 00분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 40분