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이중 포토마스크를 활용한 격자 무늬 3차원 나노 구조 패터닝 및 열분해를 통한 3차원 나노 구조 글래시 카본(glassy carbon) 제조 방법

작성자

관리자

조회수

25

등록일

2024-04-11

지식재산권 상세정보
과제 푸리에 역계산을 활용한 소재 형상 제어 및 광학 소자 개발
지식재산권명 이중 포토마스크를 활용한 격자 무늬 3차원 나노 구조 패터닝 및 열분해를 통한 3차원 나노 구조 글래시 카본(glassy carbon) 제조 방법
성과고유번호 PTR-2021-00212084563 성과발생연도 2021 국내외구분 국내
출원/등록번호 1020210171418 출원/등록일자 2021-12-03 출원/등록기관 한국과학기술원
출원/등록기관 사업자등록번호 특허유형 특허 출원/등록구분 출원
기여율 50.0 % 공개여부 공개
증빙자료
최초등록 관리자, 2024-04-11 PM 03시 01분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 40분